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    衬底片

     

     

     

    晶体材料 高纯单晶99,995%
    晶体质量  
      2英寸 4英寸 6英寸 >6英寸
    直    径 50.8±0.2 100.1±0.1 150±0.3 客制
    mm
    厚    度 430±15µm 650±20µm 1300±25µm 客制
    标准产品
    晶    向 C- plane (0001) to M-plane (1-100) or A-plane(1 1-2 0) 0.2±0.1° 
    定向
    主平面长度 16.0±1.0 32.5±1.5 50±1.5 客制
     
    定位边 A-plane (1 1-2 0 ) 0° ± 0.3°
    Primary flat Orientation
    厚度变化 ≤5µm ≤15µm ≤25m  
    翘    度 ≤8µm ≤20µm ≤20µm  
    弯    曲 ≤10µm ≤20µm ≤30µm  
    正面状态 Epi-Polished (Ra< 0.5nm)
    反面状态 Fine ground (Ra=0.4 to 1.2 µm),     
    清 洗 Class 100  clean room cleaning, 
    vacuum packaging derived nitrogen
    None  cracks, digs, chipping etc.